·方舟子·
前面我谈到为什么中国搞不出高端光刻机，之后有一大批人翻墙过来嘲笑我说：你看，你被打脸了吧，疼不疼啊？我们中国不搞光刻机，但是我们搞出了更先进的光刻厂。一开始我觉得莫名其妙，就去搜了一下。原来一些五毛、伪专家都在说中国自己搞出了更先进的光刻厂。说是清华大学有人提出一个方案，用同步回旋加速器作为极紫外光源，已经在雄安新区建厂，很快就要建成了。有说明年就建好的，也有说2026年建好的。还说等光刻厂建成，什么最先进的芯片都可以制造，不仅是3纳米的芯片，1纳米的芯片也能制造。而且量是极多的，成本是极低的，以后芯片就变成白菜价了，全世界的芯片都要被中国垄断了，美国以后想要中国的芯片，我们还不给。说得小粉红们个个热血沸腾，就像打了鸡血。
我又搜了一下，清华大学的确有人在2021年提出过一个方案，用同步回旋加速器作为极紫外光源。2022年，中科院有人发表了一篇论文进一步详细地论证这个方案。他们说，如果现在立项，预计再过五六年就可以启动这个项目了。也就是说，这个项目连立项都没有，更不要说已经在建厂、马上就要建成了。有人晒出了央视报道的照片，说是已经在建的极紫外的回旋加速器的照片。其实，他们晒出来的照片是中科院高能物理所搞的高能同步辐射加速器。这是早在2011年就提出来，2016年启动的项目，当时预计要用10年时间，就是2026年建成。不过，高能同步辐射加速器产生的是X射线，不是极紫外光，主要用于基础研究。也许在材料制作、医学方面会有一些应用，但跟光刻一点关系都没有，是被五毛们张冠李戴，故意拿出来给小粉红打鸡血的。
清华大学的方案连立项都没有，八字还没有一撇。按他们的说法，即使马上立项，也要过五六年才能启动这个项目，建成一个回旋加速器还要花10年时间。所以，即使从现在就立项，到能够实现、进入商用，那也得是20年后的事了。一个新技术从发论文提出设想，到实现、进入商用，一般也要20年左右的时间。现在用的极紫外光刻机，就是美国能源部的国家实验室早在上世纪90年代末发表论文、提出设想，经过20年的研发才进入商用的。所以，清华大学的方案即使能够实现，那也是20年后的事了。
它有没有可能实现呢？用同步回旋加速器作为极紫外光源进行光刻，这个设想最早并不是中国科学家提出来的，2001年德国科学家就已经发表过这方面的论文了。为什么这么多年过去，并没有真正建什么光刻厂呢？主要的原因是，建一个同步回旋加速器的成本非常高，如此大规模的回旋加速器要花上百亿元才有可能建出来。而且，即使把它建出来了，产生的光的质量也未必比激光好，可能比激光还要差。所以只是发了论文而已，并没有人真正去建它。